6月28日,广东省重点领域研究计划“第三代半导体材料与器件”重点专项“深紫外固态光源关键技术及创新应用研究”项目启动会在省科学院半导体院顺利召开。省科技厅高新处四级调研员张志彤、省生产力促进中心党委书记陈志祥、省科学院科研部主任董军,以及项目团队主要成员共计23人参加。项目启动会由半导体院院长陈志涛教授主持。
会议介绍了关于省重点领域研发计划项目的相关管理要求,项目负责人、半导体产业技术研究院—北京大学宽禁带半导体研究中心联合实验室主任沈波教授对该项目的整体进展情况,以及项目的近期工作安排进行了总体汇报;各子课题负责人分别汇报了各自承担的子课题任务及相关进展情况。
该项目由半导体院牵头,联合省内龙头企业和省内外相关研究机构,依托7个国家级和7个省级平台的人才、技术及设备优势共同研发。项目的顺利启动,将重点突破4英寸晶圆上的深紫外固态光源关键技术,实现深紫外固态光源衬底制备-材料外延-芯片制备-可靠封装-应用产品的全产业链贯通,加快推进传统气态汞灯的替代,并将为广东省打造成为深紫外固态光源的人才聚集高地,带动广东省乃至全国相关产业的升级发展提供助力。
(省科学院半导体院何晨光/供稿,曹军/摄影)