显示作为信息技术的重要组成和信息链的终端人机界面，应用领域遍及工业、交通、通讯、教育、航空航天、卫星遥感、娱乐、医疗等日常生活各方面，是信息产业的重要支柱。目前，新一代信息技术不断发展和融合，呈现出超高清、智能和绿色的新型发展态势。基于微米尺寸的发光二极管（Micro-LED）显示器由于在功耗、亮度、响应速度、色彩饱和度、显示密度和可靠性等方面比传统液晶技术和OLED具有无可比拟的优势而被广泛的关注和研究，该技术的商业化进程正处于工业规模加工技术开发的探索阶段。
近日，国际权威期刊《Advanced Materials Technologes》发表了广东省科学院半导体研究所（以下简称省科学院半导体所）新型显示团队的综述论文（题目：Laser-based Micro/Nano-Processing Techniques for Microscale LEDs and Full-color Displays，省科学院半导体所为论文第一完成单位）。论文主要介绍了激光技术在微LED和全彩显示器中的应用背景，概述了基于激光技术的芯片切割、几何成形、退火、剥离（LLO）、Micro-LED转移、键合（LAB）和修复等各类制造工艺在Micro-LED新型显示制备的发展历程、优劣势和最新进展，分析了激光加工技术的基本原理和机制。最后，总结了激光技术在新型显示领域的商业潜力，提出了激光技术在新型显示领域所面临的挑战和未来的研究趋势，为Micro-LED新型显示商业化应用提供了参考。
不同激光加工技术在微LED和全彩显示器中应用
省科学院半导体所新型显示团队由龚政教授领衔，长期致力于新型显示材料、器件及应用方面的研究。面向显示领域巨大的市场需求和产业化需求，聚焦于Micro-LED显示关键工艺技术的突破，探索Micro-LED产业化的制程，以满足高分辨率、低功耗、长寿命、响应速度快的新型显示应用场景。本项工作得到了国家重点研发计划、国家自然科学基金、广东省重点研发计划、广东省基础及应用基础研究基金、广东省科学院打造综合产业技术创新中心行动资金等项目资助。
原文链接：https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/admt.202200949
（省科学院半导体所/供稿）
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