9月17日，省科学院半导体所召开广东省重点领域研究计划“第三代半导体材料与器件”重点专项“深紫外固态光源关键技术及创新应用研究”项目中期工作会议，全面梳理了项目执行以来的进展，评定项目执行整体进度满足中期考核指标要求，并就接下来如何发挥该项目服务我省相关产业发展进行了深入讨论。
该项目由半导体所牵头，联合省内多家龙头企业和省内外相关研究机构，依托7个国家级和7个省级研发平台协同开展技术研发。项目将重点突破4英寸晶圆上的深紫外固态光源关键技术，实现深紫外固态光源“衬底制备—材料外延—芯片制备—可靠封装—应用产品”的全产业链贯通，加快推进传统气态汞灯的替代，为我省乃至全国相关产业高质量发展提供技术支撑。
省科技厅高新处、省生产力促进中心、省科学院科研部及半导体所相关负责人员参加会议。
会议现场
（省科学院半导体所先进材料平台/供稿）
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